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金刚石Love波液相传感器的3D有限元仿真
Published in 2018
Love波由于没有垂直剪切方向的位移分量，在液相环境中传输信号衰减小，故更适合于液相生物传感器的应用。本研究利用COMSOL多物理场软件，仿真设计了一种叉指换能器（IDT）/(100)ZnO/SiO2/Diamond多层结构的Love波延迟线型传感器件，通过在Love波传输区域添加液体（以水为例）仿真了液体对器件传输特性的影响。仿真中使用了MEMS模块和声学模块，通过在瞬态研究中施加正弦和脉冲激励信号，分别仿真研究了声波位移、液体内的声压分布和输出响应，以及液体对传感器插入损耗的影响。仿真结果表明，在液相环境中Love波传感器输出信号会产生相位迟滞，但插入损耗变化很小，说明该Love器件适合于液相生物传感器的应用。
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